展会信息
展会介绍
VACUUM2026真空展将于2026年11月18日至20日在东京Big Sight东展厅隆重举办。本届展会由日本表面真空学会主办，日刊工业新闻社承办，是日本乃至全球真空技术领域极具影响力的专业盛会。
真空技术作为支撑现代工业与科学发展的核心基础，广泛应用于半导体制造、平板显示、新能源、医疗医药、汽车制造、食品加工等产业领域，同时在粒子物理、宇宙探索等基础科学研究中也发挥着不可替代的作用。本届展会将汇聚真空泵、真空计测、真空装置、薄膜形成设备、表面分析仪器等全产业链的最新产品与技术成果，为参展商与专业观众搭建高效的商务对接与技术交流平台。
展会期间还将特别设立“大学与公共机构前沿研究介绍”专区，展示真空科学与技术在学术前沿的最新研究成果。作为连续举办48届的行业年度盛会，VACUUM2026将继续引领真空技术的创新方向与产业趋势。
展出范围
一、真空获得设备
- 各类真空泵：旋转泵、涡旋泵、分子泵、扩散泵、低温泵、干式真空泵等
- 真空泵系统及配套组件
二、真空测量与分析仪器
- 真空计（压力计）、真空规管
- 残余气体分析仪（RGA）、氦质谱检漏仪
- 气体分析装置、表面分析装置（XPS、SIMS等）
三、真空零部件与材料
- 真空阀门、真空密封件、真空法兰及连接件
- 真空腔体、观察窗、电极引入端子（Feedthrough）
- 真空专用材料与涂层
四、真空应用装置
- 真空冶金设备（真空熔炼、铸造、热处理）
- 真空化学设备（反应器、等离子体处理装置）
- 真空薄膜形成与加工装置（溅射设备、蒸镀设备、CVD/ALD设备、离子束/激光沉积系统）
五、试验与检测设备
- 真空环境下的可靠性测试装置、光学/电子显微镜用真空附件
六、相关服务与机构
- 真空设备安装、维护、培训及咨询服务
- 大学、研究机构及公共科研单位展示
- 元件机器、加工技术相关展品
参展服务
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